北京北方华创微电子装备有限公司

工作职责 方向一：等离子体与材料相互作用研究 1.研究不同工艺参数下等离子体中的物理过程和化学过程； 2.研究射频等离子体与材料表面的相互作用机理，包括刻蚀、沉积、改性等过程； 3.运用低温等离子体仿真与量子化学计算，模拟等离子体特性及其与材料表面的反应，从原子/分子层面解释实验现象； 4.通过电路及低温等离子体离线及在线诊断手段，测量等离子体参数（如电子温度、离子密度）和表面处理结果。 方向二：等离子体源设计与数值仿真 1.微波等离子体源、射频等离子体源、离子束源的物理设计与开发； 2.负责电路、电磁场及低温等离子体仿真及多物理场耦合仿真，包括进行射频容性/感性放电的仿真模型开发。 方向三：等离子体实验与综合诊断 1.等离子体实验与诊断平台搭建，进行ICP、CCP、MW、Ion Beam实验； 2.开发并应用电路及低温等离子体的离线与在线诊断技术； 3.通过实验数据验证理论模型与仿真结果。 任职资格 方向一：等离子体与材料相互作用研究 1.等离子体物理、材料物理与化学、表面化学等相关专业； 2.具备扎实的等离子体物理基础，熟悉射频容性/感性放电原理；